公司资讯
氦检漏价格常用解决方案 科仪创新真空公司
2021-06-18






氦质谱检漏仪的基本原理与结构

随着科技的迅猛发展,氦质谱检仪及其应用技术也在不断发展和究善。各国的设备厂商相继推出了多种类烈的氦质谱检涮仪,广泛应用丁航空航天,电力电子,汽车等各个行业,综观较新氦质谱检漏仪的性能特点发现,氦质谱检漏仪正向着高灵敏度、自动化、宽程、等先进方向发展,这些特点很好地满足了当前检漏应用的需求,也极大的推动了氮质谱检漏技术的不断发展。机械泵的工作方式不一样,分为干泵检漏仪和油泵检漏仪,油泵工作会有油雾排出,污染工作环境,干泵没有油雾排出对工作环境没有影响。氦质谱检漏仪的基本原理与结构氦质谱检漏仪一般由质谱管,真空系统和电子系统组成。其中质谱管包括离子源,质量分析器和离子检测器; 真空系统一般由分子泵、机械泵、电磁阀和真空计组成。离子源的作用是将原子电离成带电离子并聚焦成束,以一定能量注入质分析器,

目前常用的电子轰击型离子源有尼尔型和震荡型两种形式。质分析器的作用起将各类离子按其质荷比的不同实现分离。

离子检测器的作用是手机质量分析器所选定的氦离子流并加以放大,再通过比对运算,得出泄漏率

真空系统的作用是获取质谱过程所需的真空,同时完成被检件的抽空和氦气的引入。真空系统一般由分子泵、机械泵、电磁阀和真空计组成组成。2)氧化锌避雷器,是根据电压高低要求,采用不同截面积、不同厚度和不同数量的氧化锌片,装在瓷套中,充入氮气后密封。按照真空系统的不同结构,检漏仪分为常规系统和逆扩散两种。常规系统多用于早期的氦质谱检漏仪,该种检漏仪的被检件与高真空部分直接相通,由被检件泄入的氮气首先到达质谱管被检到,因而具有较高的灵敏度,但是会对质谱管有污染。逆扩散系统检漏仪与常规系统相比,被检件只与低真空相通,因此只需将被检工件抽至低真空就能进行检漏,氦气是逆扩散到质谱管,不会对系统有污染,因此被广泛采用,已成为市场的主流的产品。

机械泵的工作方式不一样,分为干泵检漏仪和油泵检漏仪,油泵工作会有油雾排出,污染工作环境,干泵没有油雾排出对工作环境没有影响。在半导体洁净车间都是使用干泵检漏仪。

以上内容由科仪创新为您提供服务,希望对同行业的朋友有所帮助。











氦质谱检漏仪的进展

经过近半个世纪的努力,今天的氦质谱检漏仪已告别了四十年代初期的情形。

集中体现在如下几个方面:

(1)便携式:近各国推出的小型便携式检漏仪不仅灵敏度高,而且便于携带,给野外作业和高空作业提供了比较大的方便。

(2)高压强下检漏:检漏口压强可高达数百帕左右,对检测大系统和有大漏的工件很有益。

(3)自动化程度高:自动校准氦峰,自动调节零点,量程自动转换,自动数据处理,可外接打印机。整机由微机控制,菜单的选择功能,一个按钮即可完成一次的全检漏过程。

(4)全无油的干式检漏:有些国家生产的检漏仪,可采用干式泵,达到无油蒸气的效果,为无油系统及芯片等半导体器件的检漏,提供了有利条件。

(5)检漏范围宽:现今生产的四极检漏仪,质量范围很宽,不仅可检测氦气,而且能检测其它气体。

分子泵排气系统取代扩散泵排气系统,不仅解决了油蒸气对质谱室的污染问题,而且对快速启动仪器和快速停机做出了很大贡献。为适应检漏口压强的变化和对灵敏度要求的不同,分子泵一般采用多级构造和几种不同的转速。

例如:瑞士、日本采用改变分子泵转速来达到此目的,且提高检漏灵敏度。

另外,逆扩散检漏方式,实现了高压强下检漏,也为正压吸枪检漏提供了良好的条件。






氦质谱检漏仪在消防器材检漏应用二

消防器材钢瓶检漏方法

目前国内制作钢瓶的厂家很多采用水检法,即将消防钢瓶打上一定的压力,大约 2 MPa,然后将整个钢瓶放入水槽中,看有无气泡冒出,但是使用此方法只能检到漏孔比较大的情况,根据计算得出:气泡直径为?2.26mm 在每分钟冒出一个气泡的情况下漏率约为 1.0 x 10-4 mbar l/s,对于小漏的检测比较难实现。这样检出一个漏孔可以使氦信号迅速消失以便继续进行检漏,提高了仪器的检漏效率。随着我国出口量的增加以及客户对于安全意识的提高,消防钢瓶的检漏需要更高的要求,所以现在的厂家都引入氦质谱检漏仪 进行检漏; 氦质谱检漏仪在钢瓶生产厂家被广泛应用,正压模式,其工作原理如下:氦气充入被检工件压力只要 1.2 个大气压即可----吸枪对工件找漏点。通常在 正压 模式下,检漏仪报警值设定在 1.5 x 10-5 mbar.l/s,在实际测漏过程中,被检工件的漏率大于此值就会形成漏点报警,小于此值就认为该钢瓶密封要求合格。

科仪创新拥有先进的技术,我们都以质量为本,信誉高,我们竭诚欢迎广大的顾客来公司洽谈业务。如果您对氦检漏感兴趣,欢迎点击左右两侧的在线客服,或拨打咨询电话。




氦质谱检漏仪故障与处理

(1)内部的密封结构

当检漏仪内部存在泄漏时,会对检漏工作造成较大干扰,容易造成误检、误判。质谱检漏仪通常选择氦气作示踪气体,主要原因如下:1、氦在空气中及真空系统残余气体中的含量极1少(在空气中约含5。 检漏仪内部主要的密封部位在检漏仪的后侧(见图2),位于隔热板的上方:①检漏仪测试口与阀门组块的连接部位,密封方式采用胶灌密封,检漏仪在运输过程中如遇到强烈震动,此处容易造成密封胶开裂。②各电磁阀与阀门组件间的连接部位。密封方式采用氟橡胶圈或金属垫片密封,橡胶圈的密封寿命有限,使用5 年以上时,有可能会存在密封失效的问题。③各零部件接口处的密封部位。如放大器与质谱室、离子源与质谱室、分子泵与质谱室、标准漏孔与阀门组件、真空计与阀门组件等接口间的金属垫片密封或橡胶圈密封。

(2)定位方法

采用喷吹法对各密封部位的气密性进行检测,因检漏仪内部结构紧凑,各密封结构间的距离很近,检测时定位难度较大。5l/s,氦质谱检漏仪ASM340对氦气的蕞小检测漏率:真空模式:5·10-13Pam3/s吸枪的模式:5·10-10Pam3/s以上内容由科仪创新为您提供,今天我们来分享的是氦质谱检漏仪的相关内容,希望对您有所帮助。经摸索,在检测时采用以下技巧,可提高定位的能力:①查漏前,先将分子泵风扇的电源断开,避免风扇将氦源吹散至各个密封环节,造成定位不准确。②喷吹时,要严格控制氦源的流量,尽量采用喷枪咀流量小的喷枪,提高定位的能力。③仪器的反应时间小于1 s,所以在一个部位喷吹的时间约3 s,再等待约3 s 后观测信号有无变化。

本产品信息由科仪创新提供,如果您想了解更多您可拨打图片上的电话进行咨询!科仪创新竭诚为您服务!